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穷则变。变则通。
他们为了改进光刻精度。把所有可以利用的技术,都使用遍了。最后,经过反复研究。他们在不放弃光学研究地同时,将主要精力。都投入了浸入式光刻技术的研究,并于近期,取得了极大地成果。
他们开发出了全套地浸入式技术。
如折光率不同的液体,就从一点五五到二不等的多种浸入式液体材料。
而影响到光刻效果的液体泡沫、透光率、专用光刻胶等等相关研究,也取得了巨大的成功,已经初步可以实用化。
精密仪器实验室,已经选定了一种特制液体,作为浸入式光刻技术地主要材料。
这种液体的折射率高达一点七。通过实验和技术手段改进,其透光率也完全可以应用于大规模生产。
只要汪工等将光刻机改造成功。寰宇公司将马上得到两套一百四十五纳米超高精度的光刻机。只此一项,就可以让寰宇公司遥遥领先世界水平!
寰宇公司也对这项成熟技术。进行了最严密的保护。
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