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当然,从另一个方面来说,他们中间。充斥的是空气。
浸入式的思路,就是用液体。来替换中间的空气。由于液体具有折光率,所以当紫外线光通过液体介质后,其光源波长会缩短。从而起到精微刻制的作用。
用主流的三百六十纳米技术来说,采用折射率为一点五的液体,其光波就能变成二百四十纳米!
而寰宇公司费尽心机弄回来的二百四十八纳米地光刻机,采用了一点五地浸入式技术,立即就摇身一变,成为一百六十五纳米光刻机,远远超过现有的光刻技术!
其实浸入式光刻,并非寰宇公司首创。但真正长期将其作为一个研究项目的研究单位,全世界也只有寰宇公司。
光刻技术的发展,从一代技术向下一代技术发展地时候。总会出现瓶颈。
因此,早在八零年。就有科学家采用浸入技术,成功地提高了光刻效果。然而,由于浸入式光刻技术,它的液体很容易污染光学镜片,所以主流光刻技术研究,只是将其作为一个过渡手段,没有重视。一旦下一代光刻技术成熟,便毫不犹豫地抛弃浸入式光刻。
但寰宇公司不同。
汪工等精密仪器公司的研究人员。虽然使出浑身解数。但限于光学技术的制约。在光刻机上,总是落后于西方。
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