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第345章 首要目标 (8 / 11)

还不赶快来体验!!!

        人类文明,甚至都会发生改变。

        在一些个场合,新闻媒体上,国内高校推辞不过去的演讲中,辛启天多次提到过这个概念和思考。

        沉思良久,辛启天很是遗憾的叹息一声,“算了,不提粒子束,弦网液体这些东西。”

        “我们言归正传!”

        “我的看法是,直接上手euv技术,先从光源研究。”

        “光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成。”

        “最初光刻机,是采用汞灯产生的436ng-作为光刻光源。后来采用248n的krf准分子激光作为光源,将最小工艺节点提升至350-180n水平。”

        “但是,再往下其实就很难了。”

        “据我了解,新技术处在一个变革的关键,事实上所谓的al的euv机器,其实根本是个束之高阁的东西无,无法真正应用。”

        “市场上,还没有一家企业购买过!”

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