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接下来,该轮到n型掺杂和共掺杂的问题了。
n型掺杂和共掺杂的问题,相比于p型掺杂,则要难上许多。
“第一次实现金刚石n型掺杂是在(111)面金刚石衬底上进行的,而且样品在很宽的温度范围内都表现了n型半导体传到特性……”
“在温度500k时,霍尔迁移率在23cm??/(v·s)……”
“但是,相对于(111)面单晶金刚石衬底表面抛光难、缺陷多、尺寸小来说,(100)面取向衬底表面具有原子级的平整程度,缺陷小,外延膜质量也优于(111)面衬底金刚石……”
“可这也并不是绝对的,而且晶面的问题,也不是最为关键的因素……”
想到这,陈舟手中的笔停了下来,习惯性的在草稿纸上点着点。
这是陈舟思路受阻时的表现。
“再梳理一遍文献资料……”
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