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如果氮原子能够填补缺陷,磷原子的掺杂就有了空间……
本来是准备先解决n型掺杂问题的,结果这一思考,问题就跳跃到了共掺杂?
因为四十三所的n型掺杂实验,采用的是磷掺杂。
所以在共掺杂中,他们研究的便是磷—氮共掺的方法。
这也使得陈舟就这样把两者联系在了一起。
陈舟不由得在心中笑了笑,但也随即便决定将n型掺杂和共掺杂的问题放在一块解决。
在共掺杂实验中,最早被作为磷源的是ph3,被作为氮源的是n2。
但是,采用这两种气体进行实验时,得到的结果却并不理想。
制备出来的掺杂金刚石膜的电阻率很高。
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