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【甲烷的体积分数建议先大后小,由4%开始,逐步控制在1.5%左右……】
【微波功率则建议由小到大,从0.4kw开始,逐步提升至1.2kw……】
【装置内工作压力,建议控制在195torr……】
【衬底温度建议控制在970c条件下……】
【这样的工况参数之下,生长的单晶金刚石薄膜速率大概是125μm/h……】
【质量……】
彭飞的手因激动而变得有些颤抖,草稿纸都被他捏的有点皱了。
他艰难的把目光从草稿纸上移开,转而看向陈舟,声音也因激动而变得不太流畅:“你……你真的……改进了制备工艺?”
陈舟笑了笑:“如你所见。”
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