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        【在这种情况下，到达梯层上的碳氢前驱体会扩散到另一台阶，从而形成层流式生长，层流式生长可以产生单一的外延表面结果，适合制备单晶金刚石。】

        【因此，在衬底已选定的前提下，适当的降低甲烷浓度能够有效抑制无规则生长，促进层流式生长，增加较高质量金刚石外延的生长时间和厚度。】

        写完这段话，陈舟又回头看了一眼，在旁边写下了一个区间。

        【2%~9%】

        这是初步拟定的甲烷体积分数的是错区间。

        同样的思路，同样的方法，陈舟确定了工作压力、微波功率和衬底温度的试错区间。

        但是要在这一批区间里，找到最合适的那个参数，还是需要时间的打磨。

        正如前面陈舟所想的那样，金刚石的制备工艺，本身是一个矛盾的问题。

        它的生在速率会随着甲烷浓度，工作压力和衬底温度等等因素的增加而提高，但过高的甲烷浓度和衬底温度，又会降低金刚石的质量。

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