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不仅仅是单纯的单晶金刚石制备,在掺杂实验中,所采用的方法也是同制备工艺一致的。
唯一区别就是,加入了掺杂的硼源。
所以,解决制备工艺,也能对掺杂实验的问题解决,提供一种思路。
“因为四十三所制备工艺的确定,无论是碳源气体,还是工作压力,微波参数,衬底的研究,只能从其它文献资料入手,以四十三所的工艺作对比。”
陈舟这样想着,手中的笔不断在草稿纸上划动。
“碳源气体,ch4的效果应该是最好的……”
“另外,再掺入少量的氢气,只是这个氢气的量……”
陈舟放下笔,翻动着张一凡和沈靖整理出来的资料,准备研究一番。
之所以要掺入氢气,是因为在生长过程中,氢原子可以刻蚀sp2相,并且促进碳氢基团在金刚石衬底上的沉积。
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