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p型掺杂的实验数据搞定之后,陈舟开始处理n型掺杂实验的数据。
n型掺杂,也就是磷掺杂。
除了考虑和p型掺杂一样的磷的掺杂浓度、衬底晶面、温度这些基本的影响因素。
还有一点需要考虑。
那就是磷掺杂金刚石的电子散射机制,对迁移效率,同样有影响。
金刚石半导体中的电子散射机制,与内部的声学声子、谷间声子、离子杂质和中性杂质有关。
在室温下,当磷的掺杂浓度超过1x10^18/cm??时,杂质散射或缺陷态散射其主要作用。
而当磷的掺杂浓度低于这个浓度时,杂质电离散射变为声学声子散射。
当然,这种简单的判别并不充分。
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