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彭飞倒没直接回答,而是说道:“因为磷的掺杂浓度直接影响载流子迁移率,当载流子浓度较低时,电离杂质散射影响较小,迁移率较高。”
“在2012年p博士等人通过降低(100)晶面金刚石中磷的掺杂浓度,将室温载流子迁移率提高至780cm??/(v·s)。”
“所以,我们在他们的基础上,进一步降低了磷的掺杂浓度。这10组实验磷的掺杂浓度,是在4x10^15/cm~2x10^15/cm区间内依次选取的。”
陈舟点了点头,10组实验互为对照。
陈舟又想起来一件事,便问道:“明天的共掺杂实验,也是你这边进行的吧?”
彭飞回道:“没错。共掺杂的实验,其实也是n型掺杂。只不过,不管是我们采用的mpcvd法在生长过程中掺杂,还是采用离子注入的方法,用单一元素去实现金刚石的n型掺杂,依然很难。”
“但是通过将两种或两种以上的元素掺入金刚石,去实现金刚石的n型导电,就容易多了。”
顿了顿,彭飞继续说道:“在单一元素n型掺杂中,氮元素和硫元素都不是适合的选项。但是在共掺杂中,硼和氮的共掺,硼和硫的共掺,还有磷和氮的共掺,却都可以实现金刚石的导电性。”
听完彭飞的话,陈舟转而问道:“这个课题主要是对金刚石和金刚石半导体材料制备的研究,那对于性质的研究呢?”
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