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这篇文献对于HFCVD法制备金刚石膜的介绍比较全面。
虽然这种方法是CVD法的鼻祖,但是现在使用的仍然非常普遍,而且发展成沉积金刚石薄膜较为成熟的方法之一。
这种方法需要在衬底上方设置金属热丝,常用的像钨丝、钽丝。xs63就在沈靖内心发出万般感慨的时候,陈舟回来了。
还带着一个瘦高个,戴眼镜的男生。
“学长,我来介绍一下。”陈舟指了指身旁的男生,介绍道,“这是我高中同桌张一凡,华国科学技术大学化学系的,被我喊来帮忙了。”
说完,陈舟又指了指沈靖:“这是这次和我一起来庐州参加课题的沈靖学长,和我一样,燕大数学系的。”
“你好。”张一凡和沈靖互相问了声好。
“一凡,你来这边。”陈舟把椅子搬好,放在桌子边,然后说道,“你下午下载的文献资料,去掉前面的47篇,后面的那些文献里具体的工艺资料,就靠你帮我整理了。”
“没问题。”张一凡点点头,但随即想到不对劲,这去掉47篇的话,还剩下……
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